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日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵 Model:LS120A北崎熱賣

更新時間：2025-08-19      瀏覽次數(shù)：39

螺桿型干泵Model:LS

"Model:LS"真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該Model產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機型中，您可根據(jù)設備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

  • LS120A

  • LS300A

  • LS600A




特點

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。
■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
　這是一個在運轉(zhuǎn)過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規(guī)格標配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛發(fā)科技術(shù)。
　該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■“Model:LS"無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本（*3)
■希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。
　通過組合使用排氣速度可以達到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C時
（*2）C規(guī)格時
（*3）L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。

LS120+DRP_speed_curve.pngLS120A+DRP_time_curve.png







用途

“Model:LS"有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。


其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。







規(guī)格

型式（C：C式樣）
（L：L式樣）		LS120ALS300ALS600ALS1200A
CLCLCLCL
最大排氣速度m3/h1203806001000
到達壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或　400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力
概略值 *1		kW0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷卻水量L/min>2.0>4.0
Purge gas 量 *2SLM‐0～50‐0～50‐0～50‐0～50
最大水蒸氣
處理量 *3		kg/h‐1.5‐1.5‐1.5‐1.5
噪音值*1dB(A)61616264
吸氣口KF50(水平)／
VG50(垂直)		ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40KF40KF40KF40
質(zhì)量kg142220242266
適用規(guī)格CE、cTUVus
標準附屬品電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器
本體選配件電源電壓：200V級或400V級、密封部材質(zhì)：全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、
Gas purge

*1：到達壓力時
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應無漏


排氣速度曲線

  • LS120A
    LS120_curve.png

  • LS300A
    LS300A_curve.png

  • LS600A
    LS600A.png

  • LS1200A
    LS1200A_curve.png






電話：TEL

86-010-67868591

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