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日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵 Model:GR北崎熱賣

更新時間：2025-08-19      瀏覽次數：41

多級羅茨型干泵Model:GR

干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎設計的，面向一般產業(yè)設計的簡單結構的泵。

  • GR60

  • GR90

  • GR180

特點


  • 可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域，可在高負荷下持續(xù)使用。

  • 適用load lock室（裝載/卸載室），可實現高吞吐量。

  • 感應電機可通用

  • 可以安裝防爆電機等特殊電機（可選）

  • 采用多電壓兼容電機


用途


  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

  • 各種成膜設備放入取出室的真空排氣

  • 真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產業(yè)

  • 真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充


規(guī)格


型號GR60AGR90AGR180A
最大排氣速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1860)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
極限壓力 *1Pa5.0
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）Pa1.0 ~ 大氣壓
吸氣口VG50VG80
排氣口NW40
DRP表面處理〇
電機輸出 [kW]2.23.77.5
電壓 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
質量kg128188268
冷卻方式冷卻水
一次供給壓力		MPa0.1~0.3
冷卻水
出入口壓差		MPa>0.1
冷卻水溫度℃10~30 *2
冷卻水流量L/min>5.0
氮氣一次側
供給圧力		MPa0.1~0.5
二次側
調整圧力 *3		MPa0.05 to 0.1 (運作時)
軸SLM5.0 *4

*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結露。
*3 通過調節(jié)器調節(jié)壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。

配件

型號材質表面處理重量(kg)法蘭接口GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A		SUS304GBB處理4.1KF40〇〇-
RS-01+
套件C		SUS304GBB處理8.3KF40--〇



排氣速度曲線

GR_curve.png


尺寸圖

  • GR60GR-60_en_size.png

  • GR90AGR-90A_en_size.png

  • GR180GR-180_en_size.png







電話：TEL

86-010-67868591

地址：ADDRESS

朝陽區(qū)住邦2000商務樓A座1號樓406B

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